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FET 기반 주사탐침을 이용한 Si 기판의 이온 손상 특성 해석
- Title
- FET 기반 주사탐침을 이용한 Si 기판의 이온 손상 특성 해석
- Authors
- MOON, WON KYU; 이훈택; 신금재
- Date Issued
- 2018-04-05
- Publisher
- 마이크로나노시스템학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제20회 한국 MEMS 학술대회, 2018-04-05
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Related Researcher
- 문원규MOON, WON KYU
- Dept of Mechanical Enginrg