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플라즈마 이온주입에서 그리드 전극 구조에 따른 이온 쉬스 전개

Title
플라즈마 이온주입에서 그리드 전극 구조에 따른 이온 쉬스 전개
Authors
이유진
Date Issued
2007
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001908170
http://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/8387
Article Type
Thesis
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