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MOCVD 공정에 있어서 구리(I) 전구체들의 열적 안정성과 반응 메카니즘에 관한 연구
- Title
- MOCVD 공정에 있어서 구리(I) 전구체들의 열적 안정성과 반응 메카니즘에 관한 연구
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 1997-01-01
- Publisher
- 한국화학공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 화학공학의 이론과 응용, page. 3117, 1997-01-01
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