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TiN 유기금속 화학증착을 위한 tetrakis-dimethyl-amido-titanium의 열분해특성에 한 연구
- Title
- TiN 유기금속 화학증착을 위한 tetrakis-dimethyl-amido-titanium의 열분해특성에 한 연구
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 1998-01-01
- Publisher
- 한국화학공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 화학공학의 이론과 응용, page. 913, 1998-01-01
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