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이온빔 보조증발법에 의한 GaN 박박 성장시 질소종과 에너지가 박막물성에 미치는 영향
- Title
- 이온빔 보조증발법에 의한 GaN 박박 성장시 질소종과 에너지가 박막물성에 미치는 영향
- Authors
- 김선효
- Date Issued
- 1998-01-01
- Article Type
- Conference
- Citation
- 한국진공학회, 1998-01-01
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