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고집적 메모리 소자 개발을 위한 Hf-silicate 게이트산화막 성장 및 특성 분석
- Title
- 고집적 메모리 소자 개발을 위한 Hf-silicate 게이트산화막 성장 및 특성 분석
- Authors
- 용기중
- Date Issued
- 2006-04-21
- Publisher
- 화학공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 한국화학공학회 2006년 봄 학술대회, 2006-04-21
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