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화학증착 및 원자층화학증착 표면화학 : 박막증착 관련 화학전구체의 Si(100), GaSb(100) 표면반응 연구
- Title
- 화학증착 및 원자층화학증착 표면화학 : 박막증착 관련 화학전구체의 Si(100), GaSb(100) 표면반응 연구
- Authors
- 용기중
- Date Issued
- 2002-02-19
- Publisher
- 한국진공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제22회 한국진공학회 학술발표회, 2002-02-19
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