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Ti/Ni 이중막을 이용한 p형 및 n형 SiC ohmic contact의 동시 형성
- Title
- Ti/Ni 이중막을 이용한 p형 및 n형 SiC ohmic contact의 동시 형성
- Authors
- 이정수
- Date Issued
- 2013-02-04
- Publisher
- 한국반도체학술대회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제20회 한국반도체학술대회 (KCS 2013), 2013-02-04
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- 이정수LEE, JEONG SOO
- Dept of Electrical Enginrg