UHV-CVD를 이용한 SiGe 에피 성장 및 Multi-Stacked 구조의 Suspended 나노선 응용
- Title
- UHV-CVD를 이용한 SiGe 에피 성장 및 Multi-Stacked 구조의 Suspended 나노선 응용
- Authors
- 이정수
- Date Issued
- 2013-02-04
- Publisher
- 한국반도체학술대회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/64436
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제20회 한국반도체학술대회 (KCS 2013), 2013-02-04
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