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피드백 제어를 이용해 구동 변위를 일정하게 유지하는 진동형 MEMS 자이로의 자체 발진 회로

Title
피드백 제어를 이용해 구동 변위를 일정하게 유지하는 진동형 MEMS 자이로의 자체 발진 회로
Authors
임근배석세영성중우김청월이상우
Date Issued
2012-04-06
Publisher
마이크로나노시스템학회
URI
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/63104
Article Type
Conference
Citation
제 14회 한국 MEMS 학술대회, 2012-04-06
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임근배LIM, GEUN BAE
Dept of Mechanical Enginrg
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