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벌지 실험과 나노 압입 실험을 통한 박막의 탄성계수와 푸아송비의 측정
- Title
- 벌지 실험과 나노 압입 실험을 통한 박막의 탄성계수와 푸아송비의 측정
- Authors
- 박현철
- Date Issued
- 2007-04-05
- Publisher
- 한국 MEMS 학술대회 운영위원회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 한국 mems 학술대회, page. 761 - 764, 2007-04-05
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