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마이크로 머시닝으로 제작한 기계적 가이드를 갖는 정전용량 선형 인코더
- Title
- 마이크로 머시닝으로 제작한 기계적 가이드를 갖는 정전용량 선형 인코더
- POSTECH Authors
- 문원규
- Date Issued
- 2012-11
- Publisher
- 한국센서학회
- ISSN
- 1225-5475
- Article Type
- Article
- Citation
- 센서학회지, vol. 21, no. 6, page. 440 - 445, 2012-11
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