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RTCVD 다결정 실리콘 게르마늄 박막을 이용한 PMOS 트랜지스터의 제조 및 특성 연구

Title
RTCVD 다결정 실리콘 게르마늄 박막을 이용한 PMOS 트랜지스터의 제조 및 특성 연구
Authors
김형근.
Date Issued
1995
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001898197
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/3426
Article Type
Thesis
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