평판형 반응성 이온 식각기의 설계변수 분석
- Title
- 평판형 반응성 이온 식각기의 설계변수 분석
- Authors
- 강봉구; 박성호; 전영진
- POSTECH Authors
- 강봉구
- Date Issued
- 1989-01
- Publisher
- 대한전자공학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/33324
- ISSN
- 1016-135X
- Article Type
- Article
- Citation
- 전자공학회논문지, vol. 26, no. 11, page. 1658 - 1665, 1989-01
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