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마이크로웨이브 플라즈마 화학증착법에 의해 메탄, 수소, 산소의 혼합가스로 부터 다이아몬드 박막의 합성
- Title
- 마이크로웨이브 플라즈마 화학증착법에 의해 메탄, 수소, 산소의 혼합가스로 부터 다이아몬드 박막의 합성
- Date Issued
- 1990-06
- Publisher
- 한국세라믹학회
- ISSN
- 1229-7801
- Article Type
- Article
- Citation
- 한국세라믹학회지, vol. 27, no. 4, page. 513 - 520, 1990-06
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Related Researcher
- 제정호JE, JUNG HO
- Dept of Materials Science & Enginrg