화학증폭을 이용한 원자외선용 포지티브 레지스트의 표면 불용성 억제
- Title
- 화학증폭을 이용한 원자외선용 포지티브 레지스트의 표면 불용성 억제
- Authors
- 양승관; 박찬언; 강종희; 안광덕
- POSTECH Authors
- 박찬언
- Date Issued
- 1994-01
- Publisher
- 한국고분자학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/32946
- ISSN
- 0379-153X
- Article Type
- Article
- Citation
- POLYMER-KOREA, vol. 18, no. 4, page. 622 - 631, 1994-01
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.