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플라즈마 증착법에서 ALN 박막성장에 미치는 공정변수의 영향
- Title
- 플라즈마 증착법에서 ALN 박막성장에 미치는 공정변수의 영향
- Date Issued
- 1995-01
- Publisher
- 대한금속재료학회 ( 구 대한금속학회 )
- ISSN
- 0253-3847
- Article Type
- Article
- Citation
- 대한금속학회지, vol. 12114, 1995-01
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