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싱크로트론 X선 근접 리소그래피에 의하여 전사 되어진 라인의 폭에 대한 에어리얼 이미지 시뮬레이션
- Title
- 싱크로트론 X선 근접 리소그래피에 의하여 전사 되어진 라인의 폭에 대한 에어리얼 이미지 시뮬레이션
- Date Issued
- 1998-01
- Publisher
- 대한전자공학회
- ISSN
- 1016-9288
- Article Type
- Article
- Citation
- 전자공학회지, vol. 35, no. 2, page. 164 - 171, 1998-01
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Related Researcher
- 김오현KIM, OHYUN
- Dept of Electrical Enginrg