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상온 이온주입 실리콘 산화박막과 질화박막의 형성 및 특성 연구
- Title
- 상온 이온주입 실리콘 산화박막과 질화박막의 형성 및 특성 연구
- Authors
- 백두현
- Date Issued
- 1993
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001897692
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/2922
- Article Type
- Thesis
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