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마이크로 밀링과 X-선 리소그래피 공정을 이용한 다층 마이크로 구조물 제작 공정 개발 KCI
- Title
- 마이크로 밀링과 X-선 리소그래피 공정을 이용한 다층 마이크로 구조물 제작 공정 개발
- Date Issued
- 2014-03
- Publisher
- 한국정밀공학회
- ISSN
- 1225-9071
- Article Type
- Article
- Citation
- 한국정밀공학회지, vol. 31, no. 3, page. 269 - 275, 2014-03
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Related Researcher
- 임근배LIM, GEUN BAE
- Dept of Mechanical Enginrg