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저온 성장된 ZrO2 MIM 커패시터의 전기적 특성 향상 방법에 관한 연구
- Title
- 저온 성장된 ZrO2 MIM 커패시터의 전기적 특성 향상 방법에 관한 연구
- Authors
- LEE, BYOUNG HUN
- Date Issued
- 2022-01-25
- Publisher
- 한국반도체산업협회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제29회 한국반도체학술대회, 2022-01-25
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