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장비 이벤트 로그를 활용한 반도체 테스트 장비 이상 탐지 사례 연구
- Title
- 장비 이벤트 로그를 활용한 반도체 테스트 장비 이상 탐지 사례 연구
- Date Issued
- 2022-06-03
- Publisher
- 대한산업공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2022 대한산업공학회 춘계학술대회, 2022-06-03
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- 김광재KIM, KWANG JAE
- Dept. of Industrial & Management Eng.