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Article
Direct epitaxial growth of submicron-patterned SiC structures on Si(001)
SCIE
SCOPUS
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, vol. 17, no. 6, page. 2600 - 2602, 1999-11
Yi, GC
;
Eres, G
;
Lowndes, DH
1
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