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OASIS Repository@POSTECHLIBRARY
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Article
PHOTO-INDUCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION OF SIO2 THIN FILM BY DIRECT EXCITATION PROCESS
전자공학회논문지, vol. 26, page. 1025 - 1034, 1989-07
김윤태
;
전치훈
;
정기로
;
강봉구
;
김보우
;
et al
Article
직접 광영기 PHOTO-CVD에 의한 이산화실리콘 박막의 증착특성
전자공학회논문지, vol. 26, no. 7, page. 1025 - 1034, 1989-01
김윤태
;
전치훈
;
정기로
;
강봉구
;
김보우
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