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Thesis
Cu(I) 전구체 및 Cu MOCVD 공정 연구

Thesis(Doctor), 2002

Article
H2 Plasma and PMA Effects on PEALD-Al2O3 Films with Different O2 Plasma Exposure Times for CIS Passivation LayersSCIESCOPUS

Nanomaterials, vol. 13, no. 4, page. 731, 2023-02

Thesis
사일린 환원에 의한 텅스텐 박막의 선택적 증착

Thesis(Master), 1991

Article
산화규소 표면위에서 WF6-SIH4 화학증착에 의한 텅스텐 핵의 생성

한국재료학회지, vol. 2, no. 1, page. 19 - 26, 1992-01

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