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FT-IR을 이용한 TaCN 박막의 원자층 기상증착공정(Atomic vapor deposition) 진단 및 반응 메커니즘 연구
- Title
- FT-IR을 이용한 TaCN 박막의 원자층 기상증착공정(Atomic vapor deposition) 진단 및 반응 메커니즘 연구
- Authors
- 이시우
- Publisher
- 한국진공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제 35회 한국진공학회 하계 정기학술대회
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