Conference
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이시우 | - |
| dc.date.accessioned | 2018-06-27T12:48:17Z | - |
| dc.date.available | 2018-06-27T12:48:17Z | - |
| dc.date.created | 2009-03-27 | - |
| dc.identifier.uri | https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/91918 | - |
| dc.publisher | 한국진공학회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 제 35회 한국진공학회 하계 정기학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 제 35회 한국진공학회 하계 정기학술대회 초록집 | - |
| dc.title | FT-IR을 이용한 TaCN 박막의 원자층 기상증착공정(Atomic vapor deposition) 진단 및 반응 메커니즘 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 제 35회 한국진공학회 하계 정기학술대회 | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2008-08-20 | - |
| dc.citation.conferencePlace | KO | - |
| dc.citation.title | 제 35회 한국진공학회 하계 정기학술대회 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 이시우 | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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