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DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착 공정에서의 기상반응 메카니즘 연구
- Title
- DMEAA를 이용한 알루미늄 유기금속 화학증착 공정에서의 기상반응 메카니즘 연구
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 1996-01-01
- Publisher
- 한국화학공학회 추계 발표대회
- Article Type
- Conference
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