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수송기체가 구리 MOCVD 공정에 미치는 효과
- Title
- 수송기체가 구리 MOCVD 공정에 미치는 효과
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 2000-10-27
- Publisher
- 대한금속재료학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 대한금속재료학회, page. 239, 2000-10-27
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