구리 전구체의 특성 평가 및 구리 MOCVD에서의 수송 기체 효과
- Title
- 구리 전구체의 특성 평가 및 구리 MOCVD에서의 수송 기체 효과
- Authors
- 이시우
- Date Issued
- 2000-08-04
- Publisher
- 한국화학공학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/76286
- Article Type
- Conference
- Citation
- CVD 심포지움 학회지, page. 80, 2000-08-04
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