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원자층 증착 공정에 관련한 Si(100)위에서 알코올의 표면화학연구
- Title
- 원자층 증착 공정에 관련한 Si(100)위에서 알코올의 표면화학연구
- Authors
- 용기중
- Date Issued
- 2002-04-01
- Publisher
- 한국화학공학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 화학공학의 이론과 응용, page. 2273, 2002-04-01
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