Conference
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 용기중 | - |
| dc.date.accessioned | 2018-06-21T04:33:19Z | - |
| dc.date.available | 2018-06-21T04:33:19Z | - |
| dc.date.created | 2009-03-27 | - |
| dc.date.issued | 2002-02-01 | - |
| dc.identifier.uri | https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/74476 | - |
| dc.publisher | 한국진공학회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 제22회 한국진공학회 학술발표회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 제22회 한국진공학회 학술발표회 논문집 | - |
| dc.title | 화학증착 및 원자층화학증착 표면화학 : 박막증착 관련 화학전구체의 Si(100), GaSb(100) 표면반응 연구 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 제22회 한국진공학회 학술발표회 | - |
| dc.citation.title | 제22회 한국진공학회 학술발표회 | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 용기중 | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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