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Damascene공정을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작 및 전기적 특성에 관한 연구

Title
Damascene공정을 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제작 및 전기적 특성에 관한 연구
Authors
박준하
Date Issued
2005
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001907102
http://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/7320
Article Type
Thesis
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