전계효과 트랜지스터 기반의 V형 외팔보 프로브를 이용한 유전체 층의 정전용량 측정 및 이론적 모델링
- Title
- 전계효과 트랜지스터 기반의 V형 외팔보 프로브를 이용한 유전체 층의 정전용량 측정 및 이론적 모델링
- Authors
- 문원규; 이훈택; 신금재
- Date Issued
- 2015-04-03
- Publisher
- 마이크로나노시스템학회
- URI
- https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/69658
- Article Type
- Conference
- Citation
- 제17회 한국 MEMS 학술대회, 2015-04-03
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