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마이크로 머시닝으로 제작한 가이드 레일을 갖는 정전용량 선형 인코더

Title
마이크로 머시닝으로 제작한 가이드 레일을 갖는 정전용량 선형 인코더
Authors
문원규강대실
POSTECH Authors
문원규
Date Issued
16-Nov-2012
Publisher
한국센서학회
URI
http://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/63793
Article Type
Conference
Citation
2012년 한국센서학회 종합학술대회, 2012-11-16
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문원규MOON, WON KYU
Dept of Mechanical Enginrg
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