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마이크로 머시닝으로 제작한 가이드 레일을 갖는 정전용량 선형 인코더
- Title
- 마이크로 머시닝으로 제작한 가이드 레일을 갖는 정전용량 선형 인코더
- Date Issued
- 2012-11-16
- Publisher
- 한국센서학회
- Article Type
- Conference
- Citation
- 2012년 한국센서학회 종합학술대회, 2012-11-16
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- 문원규MOON, WON KYU
- Dept of Mechanical Enginrg