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방사광을 이용한 전반사 형광 X-선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구

Title
방사광을 이용한 전반사 형광 X-선 분석시 실리콘 웨이퍼의 결정방향에 대한 배경강도 의존성 연구
Authors
허병국이희석신남수김재성구양모
POSTECH Authors
구양모
Date Issued
Jan-2002
Publisher
대한금속재료학회 ( 구 대한금속학회 )
URI
http://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/30152
ISSN
0253-3847
Article Type
Article
Citation
대한금속·재료학회지, vol. 40, no. 5, page. 545 - 549, 2002-01
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