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R.F.Plasma 화학증착에서 TiN 박막의 증착에 미치는 기하학적 영향
- Title
- R.F.Plasma 화학증착에서 TiN 박막의 증착에 미치는 기하학적 영향
- Authors
- 김용환
- Date Issued
- 1992
- Publisher
- 포항공과대학교
- URI
- http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001897409
https://oasis.postech.ac.kr/handle/2014.oak/2639
- Article Type
- Thesis
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