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Article
Effects on InP surface trap states of in situ etching and phosphorus-nitride deposition
SCIE
SCOPUS
JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, vol. 62, no. 6, page. 2370 - 2375, 1987-09-15
JEONG, YH
;
TAKAGI, S
;
ARAI, F
;
SUGANO, T
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