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실시간 스침각 입사 소각 엑스-선 산란법을 이용한 저유전체 박막의 나노기공 생성 메커니즘 연구

Title
실시간 스침각 입사 소각 엑스-선 산란법을 이용한 저유전체 박막의 나노기공 생성 메커니즘 연구
Authors
허규용
Date Issued
2005
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001907343
http://141.223.5.61//handle/2014.oak/7561
Article Type
Thesis
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