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OOPIC 시뮬레이션을 이용한 스퍼터 이온펌프의 성능개선에 관한 연구

Title
OOPIC 시뮬레이션을 이용한 스퍼터 이온펌프의 성능개선에 관한 연구
Authors
하태균
Date Issued
2002
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001905952
http://141.223.5.61//handle/2014.oak/6180
Article Type
Thesis
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