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저온 게이트 산화막의 플라즈마 화학증착과 계면 특성 개선에 대한 연구

Title
저온 게이트 산화막의 플라즈마 화학증착과 계면 특성 개선에 대한 연구
Authors
김효욱
Date Issued
2001
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001905801
http://141.223.5.61//handle/2014.oak/6029
Article Type
Thesis
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