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이온 빔 보조 증발법에 의한 GaN 박막 성장 시 질소 종과 에너지가 박막 물성에 미치는 영향

Title
이온 빔 보조 증발법에 의한 GaN 박막 성장 시 질소 종과 에너지가 박막 물성에 미치는 영향
Authors
심희성
Date Issued
1999
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001899946
http://141.223.5.61//handle/2014.oak/5173
Article Type
Thesis
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