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플라즈마 화학증착에 의한 저온 할로겐화 절연막 증착 및 수소 플라즈마에 의한 계면처리에 대한 연구

Title
플라즈마 화학증착에 의한 저온 할로겐화 절연막 증착 및 수소 플라즈마에 의한 계면처리에 대한 연구
Authors
박영배
Date Issued
1998
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001899618
http://141.223.5.61//handle/2014.oak/4845
Article Type
Thesis
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