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RuO2 박막과 RuO2 Ru 이중박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 대한 연구

Title
RuO2 박막과 RuO2 Ru 이중박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성에 대한 연구
Authors
오상호
Date Issued
1998
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001899269
http://141.223.5.61//handle/2014.oak/4497
Article Type
Thesis
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