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LEED, AES 그리고 UPS를 이용한 저에너지 (10-100 eV) 질소 이온비임에 의해 생성된 규소 질화 박막에 대한 연구

Title
LEED, AES 그리고 UPS를 이용한 저에너지 (10-100 eV) 질소 이온비임에 의해 생성된 규소 질화 박막에 대한 연구
Authors
김병찬
Date Issued
1993
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001897588
http://141.223.5.61//handle/2014.oak/2818
Article Type
Thesis
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