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SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 애칭에 관한 연구

Title
SF6 플라즈마를 이용한 텅스텐 박막의 반응성 이온 애칭에 관한 연구
Authors
김태영
Date Issued
1992
Publisher
포항공과대학교
URI
http://postech.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000001897412
http://141.223.5.61//handle/2014.oak/2642
Article Type
Thesis
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